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- 2025-08-24 发布于广西
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ICS81.060.30
CCSQ32
团体标准
T/CI961—2025
半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
Siliconcarbideceramiccomponentsforsemiconductorequipment
2025⁃04⁃15发布2025⁃04⁃15实施
中国国际科技促进会发布
中国标准出版社出版
T/CI961—2025
目次
前言…………………
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