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12.1.3其他典型光电器件3）电荷耦合器件（CCD）（1）电荷耦合器件结构与原理读出移位寄存器工作原理：MOS电容器用同一半导体衬底制成，衬底上涂覆一层氧化层，并在其上制作许多相互绝缘的金属电极，相邻电极之间仅隔极小距离。对于可移动的电荷信号都将力图向表面势大的位置移动。为保证信号电荷按确定方向和路线转移，在各电极上所加的电压严格满足相位要求，如下图所示为以三相配线连接的读出移位寄存器的结构及控制时钟波形。以此为例可说明电荷定向转移的过程。12.1光电式传感器目前三十一页\总数七十七页\编于十七点12.1.3其他典型光电器件3）电荷耦合器件（C
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