在线式激光测厚仪不确定度评定.docxVIP

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示值误差校准结果的测量不确定度评定示例

A.1测量方法

在线激光测厚仪的示值误差使用标准厚度块进行校准,根据实际测量应用范围和条件的不同,设定好相关的测量程序,按6.1的方法进行校准。本次评定以分辨力0.01μm的在线激光测厚仪测量200μm的标准厚度块为例。

A.2测量模型

(A.1)

式中:

—仪器的示值误差,μm;

—仪器示值平均值,μm;

H—标准厚度块的实际值,μm。

A.3合成标准不确定度计算公式

由式A.1,得

灵敏系数

灵敏系数

、分别表示和引入的标准不确定度,因和互不相关,则合成标准

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