TCCGA300012019超纯团体规范.docxVIP

ICS 71.100.20

G86

团体标准

T/CCGA30001—2019

超纯氨

Ultrapureammonia

2019-10-29发布 2020-01-29实施

中国工业气体工业协会 发布

T/CCGA

T/CCGA30001—2019

T/CCGA

T/CCGA30001—2019

I

I

II

II

目次

前言 II

范围 1

规范性引用文件 1

技术要求 1

试验方法 2

标志、包装、贮运及安全 3

前 言

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。

本标准起草单位：苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会。本标准主要起草人：金向华、许军州、洑春干、魏入铎、庄坤华、宋芳芳。

T/CCGA

T/CCGA30001—2019

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超纯氨

范围

本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。

本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。

规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5099钢质无缝气瓶

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB/T14601-2009电子工业用气体氨GB15258化学品安全标签编写规定

GB/T16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序GB/T16804气瓶警示标签

JT/T617危险货物道路运输规则气瓶安全技术监察规程

技术要求

产品质量

超纯氨产品的质量应符合表1的要求。

重金属含量

超纯氨重金属含量应符合表2的要求。

表1超纯氨产品技术指标

项目

指标

-2

氨（NH3）纯度（体积分数）/10 ≥

99.99999

-6

氢（H2）含量（体积分数）/10 ＜

0.01

-6

氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10 ＜

0.01

-6

氮（N2）含量（体积分数）/10 ＜

0.01

一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜

0.01

-6

二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10 ＜

0.01

表1（续）

-6

烃（C1～C3）含量（体积分数）/10 ＜

0.01

水分(H2O)含量（体积分数）/10-6 ＜

0.05

总杂质含量（体积分数）/10-6 ≤

0.1

表2超纯氨产品重金属技术指标

重金属含量/10-6（质量分数）

气相

液相

锑（Sb） ＜

0.005

0.005

镉（Cd） ＜

0.001

0.001

钙（Ca） ＜

0.01

0.05

铬（Cr） ＜

0.001

0.005

钴（Co） ＜

0.001

0.001

铜（Cu） ＜

0.005

0.01

镓（Ga） ＜

0.001

0.01

碲（Te) ＜

0.005

0.01

铅（Pb） ＜

0.001

0.001

锂（Li） ＜

0.001

0.001

镁（Mg） ＜

0.001

0.005

锰（Mn） ＜

0.001

0.005

钼（Mo） ＜

0.001

0.001

镍（Ni） ＜

0.001

0.01

钾（K） ＜

0.001

0.001

硅（Si） ＜

0.01

0.05

钠（Na） ＜

0.005

0.01

锡（Sn） ＜

0.001

0.005

锌（Zn） ＜

0.005

0.01

试验方法

抽样、判定和复验

超纯氨产品应按表1中所有要求逐一气相检验并验收，当检验结果有任何一项指标不符合表1的技术要求时，则判该产品不合格。

超纯氨产品的重金属含量应每半年检验一次，除此之外，当工艺发生变更或有异常调整时应对

重金属含量进行检验，可委托第三方检验机构进行送样检验，检验结果应符合表2的要求，当检验结果

有任何一项指标不符合表2中技术要求时，则判该产品不合格。

超纯氨采样安全应符合GB/T3723的规定。

超纯氨的纯度

产品纯度按式（1）计算：

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5+Φ6+Φ7）×10-4 (1)

式中：

123Φ——氨纯度（体积分数），10-2；Φ——氢含量（体积分数），10-6；Φ——氧含量（体积分数）