我国首台125吨全自动摩擦焊机研发成功.pdfVIP

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台湾高校开发成功采用CI＼10／S工艺的触觉传感器

台湾清华大学开发成功了几乎所有工序均采用CH0S工为了实现CMOS工艺下的开发，牺牲层使用了金属。这

艺的触觉传感器此次开发的传感器中，手触部分由带保样一来，金属薄膜就会在牺牲层刻蚀阶段被一同刻蚀处理

护膜的金属薄膜构成，这层薄膜与下面的金属薄膜构成电掉，因此预先对最终所需要的金属薄膜进行了钝化处理，以

容器手触后，金属薄膜间的距离变小、电容器容量发生确保不被刻蚀处理。试制品使用了台湾积体电路制造股份有

变化，通过这种变化实现触觉的感知。限公司(简称台积电)的2层聚合物4层金属的O．35m-F~；

大型科学仪器远程共享系统

我国科学家在世界上首创的国家科技基础平台建设项离子探针中心，20O]．年从澳大利亚引进世界第九台离子探

目、大型科学装备远程共享示范研究——离子探针系统，针质谱仪。该设备在锆石微区年龄测定上有无可替代的优

由北京离子