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洁净技术基本知识培训课件

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目录

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洁净技术设备

洁净室设计原则

洁净室运行管理

洁净技术概述

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洁净室认证与评估

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案例分析与实践

洁净技术概述

PART01

定义与重要性

洁净技术是指用于控制生产环境中的微粒、微生物和其他污染物的技术，以确保产品质量和生产安全。

洁净技术的定义

在半导体、制药等行业，洁净技术至关重要，它直接影响产品的质量和生产效率，是现代工业不可或缺的一部分。

洁净技术的重要性

应用领域

洁净技术在半导体制造中至关重要，用于确保芯片生产过程中的环境无尘无污染。

半导体制造业

生物医药行业利用洁净技术维持无菌环境，保障药品和生物制品的质量与安全。

生物医药行业

精密仪器如光学镜片、传感器等生产过程中，洁净技术确保产品不受微粒污染影响。

精密仪器制造

食品加工中应用洁净技术，以防止微生物污染，延长食品保质期，确保食品安全。

食品加工

发展历程

洁净技术起源于20世纪初，最初应用于医药和食品工业，以减少污染和提高产品质量。

洁净技术的起源

随着洁净技术的普及，国际标准化组织（ISO）制定了ISO14644系列标准，规范了洁净室的分类和测试方法。

技术标准化

1960年代，半导体工业的发展推动了洁净室技术的革新，洁净技术开始广泛应用于高科技领域。

关键里程碑

洁净技术现已扩展至纳米科技、生物工程等多个领域，成为现代工业不可或缺的一部分。

现代应用拓展

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洁净室设计原则

PART02

空气净化原理

通过控制洁净室内外的气压差，防止外部污染空气进入，确保室内空气质量。

压力梯度控制

洁净室通过高效过滤器去除空气中的微粒，确保空气达到所需的洁净级别。

合理设计气流方向和速度，防止污染物在洁净室内扩散，维持空气的洁净度。

气流组织设计

空气过滤系统

设计标准与规范

洁净室设计需遵循ISO14644和Fed/STD209E等国际标准，确保全球一致性。

国际标准遵循

根据半导体、制药等行业特点，设计时需遵守特定行业规范，满足特定生产需求。

行业特定规范

选择合适的建筑材料和设备，必须符合洁净室的洁净度要求，如使用无尘材料。

材料选择标准

制定严格的洁净室维护和操作程序，确保洁净室长期稳定运行，防止污染。

维护与操作规范

设计流程

根据生产需求和行业标准，确定洁净室的ISO等级，如ISO5或ISO8。

确定洁净室等级

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选用适合洁净室环境的建筑材料和设备，确保低发尘、易清洁。

选择合适的材料

合理规划洁净室内部布局，包括工作区、缓冲区和辅助区，以优化工作流程。

布局规划

设计高效的空气过滤和循环系统，确保洁净室内的空气洁净度和气流方向符合要求。

气流控制设计

洁净室运行管理

PART03

环境监测与控制

洁净室需定期检测空气中的微粒和微生物含量，确保符合生产标准，如ISO14644。

监测空气质量

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维持洁净室内恒定的温度和湿度是关键，通常使用精密空调系统进行调节。

温湿度控制

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洁净室通过维持正压或负压梯度，防止外部污染空气的侵入，保证产品质量。

压力梯度维护

03

对洁净室内的过滤器、风机等关键设备进行定期检测和更换，以维持其正常运行。

定期检测设备

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清洁与维护

洁净室需遵循严格的清洁计划，定期使用专用清洁剂和无尘布进行表面擦拭。

定期清洁程序

使用粒子计数器等设备监测洁净室内的颗粒物水平，确保环境符合标准要求。

监测环境参数

定期检查和更换高效过滤器，确保空气流通无尘，维持洁净室的空气质量。

维护过滤系统

质量保证体系

洁净室需符合ISO14644或GMP等国际认证标准，确保产品质量和环境控制。

洁净室认证标准

定期对洁净室的空气过滤系统、温湿度等进行监测和维护，保障运行质量。

定期监测与维护

对洁净室操作人员进行专业培训，确保他们遵守操作规范，减少人为污染风险。

员工培训与规范

洁净技术设备

PART04

空气过滤系统

高效过滤器能去除0.3微米以上的颗粒，广泛应用于生物安全柜和无尘室中，确保空气洁净度。

高效过滤器

初效过滤器用于捕捉较大的颗粒物，如灰尘和纤维，是空气过滤系统的第一道防线。

初效过滤器

HEPA（HighEfficiencyParticulateAir）过滤技术能过滤掉99.97%直径为0.3微米的颗粒，是洁净室的关键技术之一。

HEPA过滤技术

清洁设备与材料

高效过滤系统

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洁净室中使用高效过滤系统来去除空气中的微粒，确保环境达到特定的洁净度标准。

无尘擦拭布

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无尘擦拭布是用于洁净室清洁的重要材料，它们经过特殊处理，不会产生二次污染。

防静电材料

03

在洁净技术中，防静电材料如防静电服和手套被广泛使用，以防止静电对敏感设备造成损害。

检测仪器

粒子计数器用于监