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CN113594046B 半导体结构及其形成方法（台湾积体电路制造股份有限公司）.docxVIP

CN113594046B 半导体结构及其形成方法（台湾积体电路制造股份有限公司）.docx

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    (21)申请号202110284525.2

    (22)申请日2021.03.17

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113594046A

    (43)申请公布日2021.11.02

    (30)优先权数据

    63/053,3462020.07.17US

    17/126,9572020.12.18US

    (73)专利权人台湾积体电路制造股份有限公司地址

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