CN120210963A 一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺.pdfVIP

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  • 2025-09-05 发布于重庆
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CN120210963A 一种单晶硅样品腐蚀系统及其腐蚀工艺.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120210963A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510694508.4

(22)申请日2025.05.28

(71)申请人龙门实验室

地址471000

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