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T_CI 512-2024 硅基厚金属膜电镀工艺技术规范.docxVIP

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  • 2025-09-05 发布于山东
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T_CI 512-2024 硅基厚金属膜电镀工艺技术规范.docx

    ICS25.220.40CCSH01

    团体标准

    T/CI512—2024

    硅基厚金属膜电镀工艺技术规范

    Technicalspecificationsforcriterionofthesilicon-basedthickmetalfilm

    electroplatingprocess

    2024-09-18发布2024-09-18实施

    中国国际科技促进会中国标准出版社

    发布

    出版

    Ⅰ

    T/CI512—2024

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