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纳米级厚度金属薄膜表面反射光相位变化测量
马小军高党忠赵学森易泰明叶成钢
(中国T程物理研究院致垲脚开究中心四川绵阳621900)
金属薄膜表面反射光的相位变化特性是光学干涉计量中的误差补偿技术以及薄膜
材料的光学反射特|生研究中非常关注的内容。—方面，基于光学干涉原理的光学测量技
术，当测量光束入射到样品表面并发生发射时，反射光的相位相对于入射光的初始相位
发生了变化，其变化量的大小与入射光的波长、入射角度及样品的折射率等相关。对于
表面具有不同折射率的样品，这种相位的变化会
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