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工业机器人协同装配2025年技术创新在智能芯片制造中的应用范文参考
一、工业机器人协同装配2025年技术创新在智能芯片制造中的应用
1.1技术背景
1.2技术创新
高精度装配
智能感知与决策
协同作业
远程控制与维护
1.3应用场景
晶圆加工
封装测试
后道处理
1.4面临的挑战
二、技术创新的关键领域与趋势
2.1高精度运动控制技术
纳米级定位精度
自适应控制算法
集成化控制系统
2.2智能感知与决策技术
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