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气体静压轴承性能测试方法第3部分回转精度_可搜索.pdf

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ICS21.100.10

J12

气体静压轴承性能测试方法第3部分：

回转精度

one:Rotationaccuracy

2021-XX-XX发布

气体静压轴承性能测试方法第3部分：回转精度

1范围

本标准规定了气体静压轴承回转精度的技术要求、测试装置、测试方法、数据处理方法。

本标准适用于气体静压轴承轴向与径向回转精度测试，尤其是回转精度100nm以内的测试，其

他类似轴承(液体静压轴承、液态金属轴承等)可参照使用

该用户很懒，什么也没介绍

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