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真空机组知识培训课件
汇报人：XX
目录
真空机组概述
01
02
03
04
真空机组的组成
真空机组的分类
真空机组的操作
05
真空机组的维护
06
安全与环保
真空机组概述
第一章
真空机组定义
主要功能
创造、维持真空环境，满足特定工艺需求。
基本概念
真空机组是抽气系统设备，由多种真空泵组合而成。
01
02
应用领域
提供稳定真空环境，确保生产线运行。
半导体制造
真空镀膜技术，提高电池效率。
光伏产业
基本工作原理
通过齿轮带动叶轮旋转，产生离心力抽真空，罗茨泵接力实现高真空。
离心与罗茨抽气
结构紧凑，采用不锈钢或工程塑料，维修方便，适应多种工业需求。
高效节能结构
真空机组的分类
第二章
按工作原理分类
通过机械运动排气
机械泵机组
高速旋转排气
分子泵机组
涡流实现排气
涡流泵机组
按使用功能分类
低真空机组
工作压力高，排气量大，多用于粗抽及高放气量工艺。
中真空机组
适用于大抽速需求，常用于镀膜、冶炼等行业。
高真空机组
工作压力低，排气量小，抽速大，适用于分子流状态。
按结构特点分类
01
低真空机组
工作压力高，排气量大
02
中真空机组
大抽速，适用中真空系统
03
高真空机组
工作压力低，抽速大
真空机组的组成
第三章
主要部件介绍
常用水环泵、罗茨泵等，负责初步抽气。
机械泵
超高真空应用，确保极低压力环境。
离子泵/低温泵
用于高真空，提高抽速和真空度。
扩散泵/分子泵
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02
03
辅助系统功能
前级泵抽气，次级泵深抽
前级与次级泵
控制气流，监测真空度
阀门与真空规
组装与调试要点
选通风良好、无异物干扰处安装，确保平稳牢固。
安装场所选择
启动后监测真空度，调节至预设值，检查泵工作状态。
调试监测步骤
真空机组的操作
第四章
启动前的检查
确认真空机组各部件完好，无损坏或异常。
设备状态检查
检查电源连接是否稳定，电压是否符合要求。
电源连接检查
正常操作流程
检查电源部件，准备物料
启动前检查
开机启动，设置参数
启动及设置
操作及封口
放置物料，启动封口
常见故障处理
检查泄漏点，更换密封件，确保系统密封性。
真空度降低处理
维护泵体，清洗内部杂质，保持适当工作温度。
泵工作异常处理
真空机组的维护
第五章
日常维护要求
定期清洁真空室及泵体，保持环境整洁。
清洁真空机组
01
定期检查阀门、法兰、密封圈，确保无泄漏并紧固。
检查系统组件
02
定期润滑部件，按规范更换真空泵油。
润滑与换油
03
定期检查项目
清洁内部表面，更换镀膜材料。
真空室清洁
测试漏气，紧固组件，更换密封圈。
系统密封检查
维修与更换指南
定期检查各部件，清洁并润滑，确保系统正常运行。
定期维护检查
针对漏气、泵油污染等问题，耐心观察记录，找出故障点并维修更换。
故障排查处理
安全与环保
第六章
安全操作规程
制定应急处理预案，培训员工在紧急情况下正确应对，保障人员与设备安全。
应急处理措施
明确真空机组的安全操作流程，确保每一步操作都符合安全标准。
规范操作流程
废气处理与排放
排放标准
需满足行业及地区废气排放标准
麻醉废气处理
手术室废气经真空机组净化后排放
01
02
环保法规遵循
按规定设置空气污染防制设施，维持其正常运作。
防制设施设置
确保真空机组排放符合国家工业企业一级排放标准。
排放标准遵循
谢谢
汇报人：XX
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