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ICS17.100
CCSN11
T/ZJATA
浙江测试团体标准
T/ZJATA0031—2025
薄膜压力传感器压力-电信号标定
试验方法
Thinfilmpressuresensor—Pressureelectricalsignalcalibration
testmethod
2025-09-12发2025-10-12实施
工
浙江省分析测试协会发
T/ZJATA0031—2025
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4试验原理1
5试验条件2
6试验装置2
6.1砝码2
6.2压力试验机3
6.3电信号测量装置3
6.4压头3
7试验步骤3
7.1通则3
7.2逐点步进标定法3
7.3连续标定法4
8数据处理4
8.1逐点步进标定法的数据处理4
8.2连续标定法的数据处理4
8.3数据拟合5
9试验报告5
II
T/ZJATA0031—2025
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起
草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由浙江省分析测试协会提出并归口。
本文件起草单位：中国计量大学、浙江清华柔性电子技术研究院、中国计量科学研究院、工业和信
息化部电子第五研究所、柔检(嘉兴)科技有限公司、上海市质量监督检验技术研究院有限公司、浣江
实验室、浙江大学。
本文件主要起草人：何志峰、周浩淼、朱海斌、朱明敏、刘阳、杨晓锋、何海波、潘梦忠、徐祝青、
李宸、张弘、张英、王宗荣、曲绍兴、石明静。
III
T/ZJATA0031—2025
薄膜压力传感器压力-电信号标定
试验方法
1范围
本文件描述了薄膜压力传感器(以下简称“传感器”)压-电信号标定试验的术语和定义、试验
原理、试验条件、试验装置、试验步骤、数据处理和试验报告。
本文件适用于薄膜压力传感器的压-电信号标定的试
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