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单晶炉维修考试题及答案
一、单项选择题
1.单晶炉中用于产生高温熔化硅料的部件是（）
A.炉体B.加热系统C.控制系统D.真空系统
答案：B
2.单晶炉的真空系统主要作用是（）
A.提供保护气体B.排出杂质气体C.维持炉内高温D.控制晶体生长速度
答案：B
3.以下哪种传感器用于监测单晶炉内的温度（）
A.压力传感器B.流量传感器C.热电偶D.位移传感器
答案：C
4.单晶炉拉晶过程中，籽晶的作用是（）
A.提供硅源B.引导晶体生长方向C.搅拌熔体D.控制炉内压力
答案：B
5.当单
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