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MEMS压电水声传感器数据采集规范

1范围

本标准规定了数据采集系统的硬件配置、信号调理、校准方法及质量控制要求，适用于海洋观探测、水下通信等高精度声学信号采集场景。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T3223-1994声学水声换能器自由场校准方法

GB/T7965-2002声学水声换能器测量

GB/T4130-2017声学水听器低频校准方法

GB/T35086-2018MEMS电场传感器通用技术条件

GB/T44513-2024微机电系统(MEMS)技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

GJB692A—2012海洋环境噪声特性测试方法

HY/T0449-2024海洋声学调查资料整编技术规范

SJ/T10406声频功率放大器通用规范

ISO18405:2017水声学术语

3术语、定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1水声传感器

用于接收水声信号的电声换能器。

3.2MEMS压电水声传感器

一种利用压电效应将水声信号转换为电信号的微型电声换能器。

3.3MEMS压电水声传感器开路电压

当水声传感器输出端没有电流通过时，在该端呈现的电压。

3.4MEMS压电水声传感器声压灵敏度

水声传感器的输出电压与作用在水声传感器接收面上的实际声压的比值。

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3.5动态范围

传感器可检测的声压级范围。

3.6低噪声调理电路

传感器信号调理专用集成电路。

4声信号动态数据采集规范

4.1.设备准备

4.1.1传感器部署

传感器部署包括以下各项：

a)检查防水密封性；

b)稳固安装传感器；

c)避开水流干扰区域。

4.1.2数据采集信号调理电路

信号调理电路需满足：

a)采用IEPE标准接口，支持恒流源供电；

b)增益误差≤±0.5%；

c)采样率设置至少为原始信号中最高频率成分的2倍

4.1.2数据采集系统

数据采集系统包括以下各项：

a)选择16位或更高精度ADC；

b)配置采样率，满足奈奎斯特准则；

c)配置抗混叠滤波器，截止频率设为采样率的40%。

4.2参数设置

采样参数的流程如下：

a)根据频率设置采样率，如200kSPS；

b)调整增益至70%~90%量程；

c)选择合适触发模式：连续或外部触发。

4.3数据采集流程

4.3.1基线校准

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基线校准的流程如下：

a)静水环境中采集背景噪声30秒；

b)分析噪声谱并校准系统噪声水平。

4.3.2信号采集

信号采集的流程如下：

a)启动软件并同步GPS及水深数据；

b)监控时域波形与频谱；

c)按照触发模式自动采集。

4.3.3数据分段存储

数据分段存储的流程如下：

a)按时间或事件分段存储；

b)保存为WAV或HDF5格式，附加元数据。

4.4质量控制

4.4.1实时校验

实时校验的范围：

a)监测信号动态范围（80~160dBre1μPa）；

b)监控总谐波失真（THD1%）。

4.4.2后期处理

后期处理包括：

a)剔除异常数据段；

b)归一化和带通滤波，保留目标频段。

5MEMS压电水声传感器校准规范

5.1校准原理

交变静水压校准系统工作时，校准容器以固定幅度h上下作正弦垂直振动，在校准腔中产生的压力p可按式（1）计算：

p=p0cos(wt)（1）

式中：

p0--初始压力值；

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p--校准腔中变化的压力；

w--相位值；

t--校准用时。

当系统共振频率远大于校准频率且机械品质因数Q大于2时,KO值可以按式（2）计算：

（2）

式中：

f0--系统共振频率；

f--校准频率；

K0--亥姆赫兹共振产生的压力放大系数。

通过被校水声传感器在等效声压作用下输出的开路电压计算得到被校水声传感器的声压灵敏度为：

（3）

式中：

Uc--开路电压；

p0--初始压力值；

Mp--声压灵敏度。

5.2校准方法

5.2.1校准前的准备

校准前应做如下准备：

a）测量被校水声传感器的电缆长度；

b）清洗被校水声传感器表面,将其固定在充满清洁水的校准腔中,浸泡1h；

c）对不带前置放大器的被校水声传感器,测量其静态电容和绝缘电阻；

d）对校准容器充水,使水位达到适当高度,排出校准腔,、连通