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世源科技工程有限公司

技术规格书

章号：11513

标题：特种气体系统

版次：０

建设单位：北京超弦存储器研究院

项目名称：特色工艺实验室工程项目

编制人审核审定批准人

二○二四年三月

技术规格书

一、一般说明

二、系统容量/供应范围

三、系统要求

四、空间需求/未来扩充空间

五、系统公用流体需求/工程接口

六、系统流程简图/PFD/单线图/升位图

七、气体输入/输出质量规格

八、主要管线材质/洁净等级

九、主要设备清单数量

十、通用设计要求

技术规格书

⼀、一般说明

本特气系统工程为交钥匙（Turn-Key）工程，系统厂商应遵守国家及国际相关的标准、

法规，按业主规划要求和工艺设备对特种气体系统的需求，提供特种气体供应系统工程所需

的所有设计、制造、运输、安装、认证、检测（含第三方认证及政府相关报审）、调试、

操作、试车、维修、提供业主人员的培训、售后服务等内容。系统厂商需使用先进的特气技

术，提供系统最佳的质量及可靠性，并同时达到业主对于工程进度的要求，本章节未明确指

出但对系统功能至关重要的项目同样视为特气系统承包商之职责。

特气系统承包商应提供所有设备和部件的制造商、供应商、型号，并应符合业主的品牌

列表要求，同时向业主送审，业主有权批准或不批准承包商或其分包商的任何材料、设备或

工艺。业主保留在系统安装期间或定期由第三方采用抽检或全检方式对系统检测、认证的权

利，承包商应在第三方的工作范围内全力支持其工作。

本期特气系统的主要工作分布在但不限于以下区域：生产厂房、室外管架、特气车间。

特种气体供应系统包含:特种气体供应设备、特种气体分配设备、尾气处理装置、特种

气体供应设备的公用工程等。承包商应按照要求完成本技术规范中规定的全部设备的供货与

安装。内容包括特种气体全部供应系统建置工程的设计、材料采购、施工安装、现场调试、

测试、包装、技术培训等，以及设计联络、售后服务等各种技术服务。所有资料和部件必须

符合本技术规格书的要求，无论其是否被明细列在合同文件中。同时，承包商应提供本技术

需求中未描述的，但为保证设备能正常安装、运行、维护和改造所必须的部件、附件、软件、

工具等，并对其合法性负责。为保障系统安全稳定可靠运行，承包商应对图纸进行优化设计，

对未提到的缺漏项自行补充，并对材料清单的完整性及准确性自行负责，结算价不予调整。

供应系统验收合格上线后，质保期内承揽商需派驻专人协助业主进行运转维护。

二、系统容量/供应范围

2.1.各系统容量规划:

1)特种气体供应系统依其包材与供应能力区分为气柜(GasCabinet)、气瓶架（Gas

Rack）大宗特种气体供应系统(BSGS/BSGR)。

包名称：特气D

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技术规格书

2)特种气体依其特性区分为三大类，分别为可燃性(Flammable)气体、毒性/腐蚀性

(Toxic/corrosive)气体、惰性(Inert)气体。又分别依其气体钢瓶内容特性再区分为液态气

体(Liquidphase)和气态气体(Gasphase)。

3)可燃性、毒性/腐蚀性气体以两缸式气柜（NH3采用Y瓶+BSGS供应，NF3采用集装

格+BSGS供）及气体阀箱(VMB)供应，惰性气体则以两缸式气瓶架供（4%H/N2混合气采

用集装格+BSGR供）。

4)尾气处理设备

不相容特种气体不得共用尾气处理设备，易燃易爆间内的尾气处理设备需满足相应