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特气管道施工与检查GASChemicalPart2015.07.021*一、特气概述一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体（BulkGas）和特种气体（SpecialGas）两种。大宗气体一般是指集中供养且用量较大的气体，涵盖制程用气如：PO2、Par、PH2、Phe，以及非制程用气如：CDA、N2、GN2等。特种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体以及其他广为各种制程设备机台所使用的惰性气体等。随着各种不同气体的特性，设计出不同的气体输送系统来满足各种不同制程设备的需求。1*二、特气的分类我们将半
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