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UHF-120UltraHighFrequencyVibrometer
新一代的微纳米器件，如微型声学滤波器、RF-MEMS和超声换能器等，涉及到
接近GHz频率的高频机械振动和波传播。对于这些在如此高频下工作的显微设备，
只有具有高空间分辨率、无任何附加质量影响、超高光学灵敏度的精密光学技术
才能获取其振动特性。
Polytec的UHF-120超高频极高测振仪可以获取微型器件实时的面外振动特性，具有
pm级灵敏度，测量带宽最高可达2.4GHz。用户可选用手动的逐点测量系统(VibSoft软件)
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