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离子注入工培训考核试卷及答案

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离子注入工培训考核试卷及答案

考生姓名：答题日期：判卷人：得分：

题型

单项选择题

多选题

填空题

判断题

主观题

案例题

得分

本次考核旨在检验学员对离子注入工相关理论知识和实际操作技能的掌握程度，确保学员能够胜任离子注入工作，确保工艺质量和生产安全。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.离子注入过程中，用于加速离子的装置是（）。

A.注射枪

B.加速器

C.注射室

D.凝聚器

2.离子注入工艺中，离子束与靶材表面发生的主要作用是（）。

A.离子溅射

B.离子扩散

C.离子沉积

D.离子激发

3.离子注入过程中，用于控制离子束流量的设备是（）。

A.注射枪

B.加速器

C.流量计

D.注射室

4.离子注入工艺中，用于检测离子束束流密度的设备是（）。

A.束流密度计

B.靶材表面分析仪

C.离子能量分析仪

D.注射枪

5.离子注入过程中，用于保护离子束传输线的设备是（）。

A.真空系统

B.冷却系统

C.加速器

D.注射室

6.离子注入工艺中，用于检测离子束能量分布的设备是（）。

A.能量分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

7.离子注入过程中，用于调整离子束束流方向的设备是（）。

A.注射枪

B.聚焦透镜

C.真空系统

D.加速器

8.离子注入工艺中，用于控制离子束束流大小的设备是（）。

A.注射枪

B.加速器

C.流量计

D.注射室

9.离子注入过程中，用于检测离子束束流束斑大小的设备是（）。

A.束斑分析仪

B.靶材表面分析仪

C.能量分析仪

D.注射枪

10.离子注入工艺中，用于检测离子注入深度的设备是（）。

A.深度分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

11.离子注入过程中，用于检测离子束束流聚焦度的设备是（）。

A.聚焦度分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

12.离子注入工艺中，用于检测离子束束流稳定性的设备是（）。

A.稳定性分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

13.离子注入过程中，用于检测离子束束流束斑均匀性的设备是（）。

A.均匀性分析仪

B.靶材表面分析仪

C.能量分析仪

D.注射枪

14.离子注入工艺中，用于检测离子束束流束斑形状的设备是（）。

A.形状分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

15.离子注入过程中，用于检测离子束束流束斑边缘的设备是（）。

A.边缘分析仪

B.靶材表面分析仪

C.能量分析仪

D.注射枪

16.离子注入工艺中，用于检测离子束束流束斑中心的设备是（）。

A.中心分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

17.离子注入过程中，用于检测离子束束流束斑面积的设备是（）。

A.面积分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

18.离子注入工艺中，用于检测离子束束流束斑形状的设备是（）。

A.形状分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

19.离子注入过程中，用于检测离子束束流束斑边缘的设备是（）。

A.边缘分析仪

B.靶材表面分析仪

C.能量分析仪

D.注射枪

20.离子注入工艺中，用于检测离子束束流束斑中心的设备是（）。

A.中心分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

21.离子注入过程中，用于检测离子束束流束斑面积的设备是（）。

A.面积分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

22.离子注入工艺中，用于检测离子束束流束斑形状的设备是（）。

A.形状分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

23.离子注入过程中，用于检测离子束束流束斑边缘的设备是（）。

A.边缘分析仪

B.靶材表面分析仪

C.能量分析仪

D.注射枪

24.离子注入工艺中，用于检测离子束束流束斑中心的设备是（）。

A.中心分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

25.离子注入过程中，用于检测离子束束流束斑面积的设备是（）。

A.面积分析仪

B.靶材表面分析仪

C.束流密度计

D.注射枪

26.离子