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多晶硅锭硬质夹杂：性质剖析与形成机理探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在全球积极寻求可持续能源解决方案的大背景下，太阳能作为一种清洁、可再生的能源，受到了广泛关注与大力发展。太阳能电池作为将太阳能转化为电能的关键器件，其市场需求与应用领域不断拓展，从住宅和商业建筑的屋顶太阳能系统、建筑一体化光伏，到工业厂房的能源自给、公共设施的电力供应，再到离网系统为偏远地区提供电力等，在各个领域都发挥着重要作用。而多晶硅锭作为制造太阳能电池的核心原材料，凭借其相对较低的成本、成熟的制造工艺以及良好的稳定性，在太阳能电池材料市场中占据着主导地位，目前铸造多晶硅已成功取代直拉单晶硅，成为最主要的太阳能电池材料，晶体硅太阳电池在太阳电池市场中的占有量达90%以上。

然而，在多晶硅锭的生产过程中，不可避免地会出现硬质夹杂这一问题。这些硬质夹杂的存在，给后续的硅片切割和电池片生产带来了诸多困扰。在硅片切割环节，硬质夹杂会使切割线受到异常阻力，极易导致切割线断裂，造成断线停机等生产事故，不仅降低了生产效率，还增加了生产成本。同时，硬质夹杂还会使硅片表面出现脊纹，严重影响硅片的表面质量，导致硅片报废。而在电池片生产中，硬质夹杂可能会影响电池片的电学性能，降低电池片的光电转换效率，进而影响整个太阳能电池的性能和使用寿命。

鉴于硬质夹杂对多晶硅锭后续加工及太阳能电池性能的严重负面影响，深入研究多晶硅锭中硬质夹杂的性质与形成机理具有至关重要的意义。通过对硬质夹杂性质的研究，如确定其化学成分、晶体结构、物理特性等，可以更准确地了解其对硅片切割和电池片质量的影响机制，为优化切割工艺和提高电池片性能提供理论依据。而对形成机理的探究，能够帮助我们找出硬质夹杂产生的根源，从而从源头上采取有效的预防措施，减少硬质夹杂的产生。这不仅有助于提升多晶硅锭的质量，降低生产成本，还能提高太阳能电池的效率，增强太阳能发电的竞争力，推动太阳能产业的可持续发展。

1.2国内外研究现状

随着太阳能产业的迅速发展，多晶硅锭作为太阳能电池的关键原材料，其质量和性能受到了广泛关注。多晶硅锭中的硬质夹杂问题因其对硅片切割和电池片质量的显著影响，成为了研究的重点领域。国内外学者从多个角度对多晶硅锭中硬质夹杂展开研究，在夹杂的种类、性质、分布规律及形成机理等方面取得了一定成果。

在夹杂种类和性质研究方面，众多研究表明，多晶硅锭中的硬质夹杂物主要包括碳化硅（SiC）和氮化硅（Si?N?）。通过扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）和X射线衍射仪（XRD）等先进分析手段，对其微观形貌和晶体结构进行深入观察与分析，发现SiC呈不规则块状，而Si?N?呈平直杆状。毛文行等学者利用3D高景深显微镜、配备特征X射线能谱仪的扫描电镜以及X射线衍射仪，对多晶硅锭中的硬质夹杂进行形貌和物相观察，明确了造成硅片脊纹和断线停机的主要原因是块体状的β-SiC和棒状β-Si?N?的存在，且β-SiC会附着在β-Si?N?上形成团簇状。

关于夹杂的分布规律，研究发现多晶硅锭中硬质夹杂在硅锭顶表面附近高度富集。学者王建立、张呈沛、张华利、颜颉颃在论文《铸造多晶硅锭常见异常问题浅析》中介绍多晶硅锭在铸造生产过程中遇到的各类异常问题，分析产生各种异常的原因，其中就有对硅锭中夹杂分布的研究，发现硅锭顶部颗粒直径可达100μm以上，团簇后增大至几百微米；而硅锭中部夹杂物较少，但仍能找到直径在100μm左右的夹杂物。也有研究指出，硅锭内部仍会偶尔出现大于100微米的较大碳化硅夹杂颗粒。这些分布特征与多晶硅锭的凝固过程密切相关，凝固过程中的温度梯度、溶质扩散等因素都会影响夹杂的分布。

在形成机理的研究上，不少学者认为SiC和Si?N?的形成与原料、铸锭过程中的气体以及保护气等因素有关。通过热力学和动力学分析，发现它们应该形成于凝固后。有研究表明，碳化硅夹杂在硅液中沉降不明显，其在硅锭内部出现的原因可能是高温下长时间保温，过饱和的C在硅晶体中形核并长大。但对于导致碳化硅夹杂在硅液中沉降不明显的具体原因，尚未有明确的定论。

尽管国内外在多晶硅锭中硬质夹杂的研究上取得了一定进展，但仍存在一些不足和有待深入探讨的问题。现有研究对于夹杂形成过程中的微观机制，如原子扩散、形核长大的具体过程和影响因素，还缺乏深入的理解和详细的阐述。不同研究中对于夹杂形成的具体条件和影响因素的结论存在一定差异，尚未形成统一的认识，这给实际生产中的控制和预防带来了困难。而且，针对硬质夹杂对太阳能电池电学性能的影响机制，目前的研究还不够系统和全面，需要进一步深入研究。此外，如何通过优化生产工艺和控制条件，从根本上减少硬质夹杂的产生，提高多晶硅锭的质量，也是未来研究需要重点关注的方向。

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