电真空材料与工艺.pptVIP

电真空材料与工艺目前一页\总数六十一页\编于四点

目前二页\总数六十一页\编于四点

提出性能指标理论计算结构工艺设计成品管测试目前三页\总数六十一页\编于四点

第一章微波电真空工艺特点和电真空材料

什么是微波电真空器件？利用电子注与高频场的相互作用而实现微波能量的产生和放大的器件工作环境：真空电子注与高频场的复杂性，决定了它的研制必然是一种知识、技术密集型的过程。目前四页\总数六十一页\编于四点

第一节电真空工艺特点1、使用材料广泛而特殊广泛：包含了自然界中70%以上的已知元素金属及合金、气体、介质材料、化学材料、特殊材料目前五页\总数六十一页\编于四点

金属材料：气体：目前六页\总数六十一页\编于四点

介质材料：玻璃陶瓷云母聚四氟乙烯、硅橡胶、环氧树脂、……目前七页\总数六十一页\编于四点

化学材料：硫酸、盐酸、硝酸、铬酸、丙酮、乙醇、汽油、三氯乙烯、四氯化碳、……目前八页\总数六十一页\编于四点

特殊材料：发射材料、吸气材料、发光材料、封接材料、二次电子发射材料、磁性材料、…目前九页\总数六十一页\编于四点

1、使用材料广泛而特殊特殊：对材料的要求特殊机械加工性能：既要易于加工，又要具有足够的强度；电磁性能：高频机构的材料应具有良好的导电性，磁体材料则应具有良好的磁性能等等；目前十页\总数六十一页\编于四点

真空性能：好的吸气或放气性能，低的饱和蒸汽压，良好的气密性；热性能：热稳定性能、高温强度性能等；封接（焊接）性能：适当的膨胀系数、好的焊料浸润性能等等；目前十一页\总数六十一页\编于四点

特殊材料的特殊性能：发射材料的发射性能、抗中毒能力，吸气材料的吸气性能等等。目前十二页\总数六十一页\编于四点

第一节电真空工艺特点1、使用材料广泛而特殊2、机械加工要求高要求加工精度高（0.01mm~0.02mm）表面光洁度要高（粗糙度0.8~0.2或更高）目前十三页\总数六十一页\编于四点

第一节电真空工艺特点3、设备专业性强：按照特定工艺技术要求而设计制造的专用设备加工制造设备真空设备涂覆设备热处理设备焊接设备专用测试设备目前十四页\总数六十一页\编于四点

第一节电真空工艺特点4、生产技术复杂机械加工技术半导体工艺技术真空技术焊接技术玻璃、陶瓷及其封接技术目前十五页\总数六十一页\编于四点

第一节电真空工艺特点5、真空卫生严格成品率、可靠性以及寿命；固体污染物液态污染物目前十六页\总数六十一页\编于四点

第一节电真空工艺特点6、工艺纪律严肃严格按工艺规范生产，对工艺规范的修改，都必须经充分试验，审批后才能实行目前十七页\总数六十一页\编于四点

第二节电真空常用金属与合金难熔金属：熔点高，3000℃左右。W（钨）、Mo（钼）、Re（铼）、Ta（钽）、Nb（铌）等，用作器件中的加热体（阴极、热子）及高温工作零件（行波管螺旋线、管内阳极、聚焦极等）。非难熔金属：熔点低，1000～1500℃。铜（Cu）、镍（Ni）、铁（Fe）等及其合金。做结构零件目前十八页\总数六十一页\编于四点

晶粒示意图目前十九页\总数六十一页\编于四点

2.1难熔金属（一）钨及钨合金性质：钨的比重达19.1～19.3克/厘米3。钨的熔点高达3410℃用途：直热式阴极、热子材料合金：钨钼合金、钍钨丝、铼钨丝、钨铜棒目前二十页\总数六十一页\编于四点

2.1难熔金属（二）钼及钼合金性质：比重10.2克/厘米3、熔点2620℃。纯钼的机械性能良好，因而易于加工用途：做工作在1000℃以下的电极合金：钨钼合金、钼铜目前二十一页\总数六十一页\编于四点

2.1难熔金属（三）钽铌（Ta－Nb）合金性质：钽的熔点2996℃，比重16.6克/厘米3，铌的熔点2415℃，比重8.57克/厘米3。强度高、抗疲劳、抗变形、抗腐蚀、导热、及吸收气体等优良特性用途：阴极支持筒、热屏筒等目前二十二页\总数六十一页\编于四点

2.2非难熔金属（一）铜（Cu）及铜合金性质：熔点为1083℃，比重8.95克/厘米3，良好导电、导热性能。无磁性，有良好的耐腐蚀性，成本低用途：大量使用。管内零件、管外零件。纯铜的牌号是T1、T2、T3和T4目前二十三页\总数六十一页\编于四点

无氧铜：无氧铜中氧的含量一般在0.001～0.003%之间，杂质总量不超过0.05%“氢病”：氢气渗透到铜的内部，与铜中所含的氧发生作用形成了水蒸气，在铜中形成很高的压力，使铜遭到破坏