低电流(1nA)与高电阻(1GΩ)的测试技巧.pptxVIP

低电流(1nA)与高电阻(1GΩ)

的测试技巧刘源

是德科技业务发展经理Jul8,2015

研讨会议程高阻和低电流测量基础知识测量误差的来源以及修正方法调整仪器设置以得到最佳测量结果最后总结和评论

何谓高电阻？3为了方便今天的研讨会,我们将把高阻测量定义为大于1GW的测量。此外,高阻表征通常需要低于1纳安的电流测量。输入一个直流电压，测量通过待测物(DUT)的电流，并以欧姆定律计算出电阻(R=V/I).?高低VSAImRl电流表待测物电压源高电阻测量的定义重要的术语:Peta(P)=1015Tera(T)=1012Giga(G)=109pico(p)=10-12femto(f)=10-15atto(a)=10-18

超高电阻测量需要皮安表(pA)或静电计(eM)/高阻计4什么是皮安表？简单的说这是一个高精度的电流表可以测量低于10nA的电流10-1810-1510-1210-910-610-310010310610910121015a(atto)f(femto)p(pico)n(nano)μ(micro)m(mili)k(kilo)M(Mega)G(Giga)P(Peta)T(Tera)10nA1G?什么是静电计？简单的说这是一个高性能的万用表可以测量1GΩ的电阻型号产品类型电流测量分辨率电阻测量电压源电荷测量分辨率B2981A/83A皮安表0.01fA无无无B2985A/87A静电计/高阻计0.01fA高达10PW高达1,000V1fC

浮地/接地的电阻测量5浮地接地高低高低寄生电容漏泄电阻高电流表输入端共地端口屏蔽（接地）保护层共地端口电流表输入端共地端口低

测量数据问题6在低电流测量时，了解瞬态信号的性能是非常重要的。因此,重要的是能够直观地看到一个测量信号的时域特性和选择适当的测量点。所有测量都包括一定数量的不确定性,但尤其在低电流测量时，测量结果更必需随机采集（如平均值和标准偏差）。

噪声问题-17最大的实验室噪音来源是交流电源线路交流电压(50or60Hz)时间时间测量值拿多个电力线周期(PLC)的平均值可以纠正这个噪音。

噪声问题-28消除交流噪声的最佳办法就是完全的隔离使用电池供电的测量电池测量仪器连接到交流电源的测量

低电流/高电阻测量，

很典型的都用静电计/高阻计9电压表什么是静电计的主要特点?湿度传感器电压源温度感应器电流表

低电流测量必须使用三轴线10为什么低电流测量时我们需要用三轴电缆和夹具？BNC(同轴)线:三轴电缆:泄漏电流:泄漏电流:三轴电缆降低泄漏电流达100,000,000倍。绝缘讯号线导通保护层绝缘讯号线

外部电缆和夹具问题-111你怎么知道如果你的电缆和夹具没问题?噪声噪声夹具/遮蔽盒在低电流测量时，验证电缆和测试夹具的性能是很重要的。因为这些地方往往是整个测量系统最薄弱的连接。

外部电缆和夹具问题-212外部连接完整性的验证技术电流表参考DUT目标三轴电缆测试夹具静电计通过比较参考和目标的电流测量变化,可以获得相对的品质因数。

在这研讨会所引用的静电计13电流测量低至0.01飞安电阻测量高达10PΩKeysightB2985A/B2987ADateNoise------------------------DateNoise------------------------时域视图实时直方图视图0.01fA(0.00001pA)有效分辨率和0.001fA显示分辨率俱备电池供电操作模式(B2987A)可选安装设置完整性检查功能以测量和记录设置噪声水平待测物噪声数据------------------------

研讨会议程高阻和低电流测量基础知识测量误差的来源以及修正方法调整仪器设置以得到最佳测量结果最后总结和评论

测量误差的来源以及修正方法1501电容耦合02绝缘体的影响03泄漏电流04电缆的机电系统噪声05外部环境的噪声

电容耦合-116电容耦合噪声的主要来源电容耦合引起的电流噪声出现在两个截然不同的方式:通过外加电压的变化和通过振动什么导致电容耦合噪声？人体活动人体可以保留电荷并施加足够的电压。随机电压波动:交流输电线路信号线?

电容耦合-217屏蔽因为高阻和低电流测量对外部噪声非常敏感,适当的屏蔽是至关重要的。一个理想的测试夹具必须完全把待测物包围在导电材料里。它必须与地面保持一定的电位并确保所有不必要的电线搁置在内部测试环境的外面如何减少电容耦合效应屏蔽测试夹具测试仪器

电容耦合-318屏蔽测量无屏蔽测量测量实例:无屏蔽vs.屏蔽屏蔽的100GΩ演示设备静电计屏蔽三轴电缆1