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2024年氮化硅陶瓷基板报告.docx

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    艾邦智造

    一、什么是氮化硅

    公众号·艾邦陶瓷展

    艾邦智造1.

    艾邦智造

    氮化硅(Siliconnitride),分子式：Si3N4,属于六方晶系，有α、β和Y三种晶相,其中α相和β相是Si3N4最常见的形态，均为六方结构，可在常压下制备。研究者根据Si3N4的结构提出β-Si3N4的理论热导率高达200～320W/m·K。

    ●Si●N

    Sisi。N

    α-Si?N?β-Si?N?

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