2025年半导体清洗技术革新推动产业迈向高端.docx

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一、2025年半导体清洗技术革新推动产业迈向高端

1.1清洗技术的背景与挑战

1.1.1随着半导体器件特征尺寸的缩小，对清洗技术提出了更高的要求。

1.1.2半导体制造过程中产生的污染物种类繁多，对器件性能产生严重影响。

1.1.3随着环保意识的不断提高，绿色、环保的清洗技术成为行业发展趋势。

1.22025年半导体清洗技术革新方向

1.2.1超临界流体清洗技术

1.2.2纳米清洗技术

1.2.3微流控清洗技术

1.3政策支持与产业发展

1.3.1我国政府高度重视半导体清洗技术的发展

1.3.2科研机构与企业紧密合作