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国产光刻机双工件台系统研发团队与国际先进水平的差距与提升路径.docx

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    国产光刻机双工件台系统研发团队与国际先进水平的差距与提升路径

    一、项目概述

    1.1研发团队现状

    1.2技术水平差距

    1.2.1核心部件研发

    1.2.2系统集成

    1.2.3工艺水平

    1.3研发投入差距

    1.4人才储备差距

    二、提升路径分析

    2.1技术研发与创新

    2.1.1加大基础研究投入

    2.1.2引进和培养高端人才

    2.1.3加强关键核心技术攻关

    2.2研发投入与政策支持

    2.2.1增加研发资金投入

    2.2.2完善科技创新政策

    2.2.3推动产学研合作

    2.3产业链协同与生态构建

    2.3.1加强产业链上下游协同

    2.3.2构建光刻机双工件台系统产业生态

    2.

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