第八章 电子光学基础.pptVIP

3．电磁透镜特点：①能使电子偏转会聚成像，不能加速电子；②总是会聚透镜；③焦距、放大倍数连续可调。返回第28页，共45页，星期日，2025年，2月5日§8－4电子透镜的缺陷和分辨距离电子透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨距离，对电镜分辨本领起作用的是球差、象散和色差。1）球差球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。远轴的电子通过透镜后折射得比近轴电子要厉害得多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个漫散圆斑，半径为还原到物平面，则为球差系数，最佳值是0.3mm。为孔径角，透镜分辨本领随其增大而迅速变坏。第29页，共45页，星期日，2025年，2月5日αP’象P’’透镜物P光轴图球差第30页，共45页，星期日，2025年，2月5日2）象差磁场不对称时，就出现象差。有的方向电子束的折射比别的方向强，如图所示，在A平面运行的电子束聚焦在Pa点，而在B平面运行的电子聚焦在Pb点，依次类推。这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半径为还原到物平面为象散引起的最大焦距差；透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各项磁导率差异引起。象散可由附加磁场的电磁消象散器来校正。第31页，共45页，星期日，2025年，2月5日平面BPA透镜平面物P光轴PBfA平面A图象散第32页，共45页，星期日，2025年，2月5日第1页，共45页，星期日，2025年，2月5日绪论用电子光学仪器研究物质组织、结构、成份的技术称为电子显微术。材料的性能往往取决于它的微观结构及成分分布。因此，为了研究新的材料或改善传统材料，必须以尽可能高的分辨能力观测和分析材料在制备、加工及使用条件下（包括相变过程中，外加应力及各种环境因素作用下等）微观结构和微区成分的变化，并进而揭示材料成分—工艺—微观结构—性能之间关系的规律，建立和发展材料科学的基本理论。改炒菜式为合金设计。第2页，共45页，星期日，2025年，2月5日主要内容扫描电子显微分析透射电子显微分析电子探针显微分析第3页，共45页，星期日，2025年，2月5日扫描式电子显微镜(scanningelectronmicroscope，SEM)：1964年，第一部商售SEM问世，目前已被广泛的使用。SEM以较高的分辨率（3.5nm）和很大的景深可以清晰地显示粗糙样品的表面形貌，并以多种方式给出微区成份等信息，可用来观察断口表面微观形态，分析研究断裂的原因和机理，以及其它方面的应用。第4页，共45页，星期日，2025年，2月5日透射电子显微镜（TEM）具有原子尺度的分辨能力，同时提供物理分析和化学分析所需全部功能的仪器。特别是选区电子衍射技术的应用，使得微区形貌与微区晶体结构分析结合起来，再配以能谱或波谱进行微区成份分析，得到全面的信息。第5页，共45页，星期日，2025年，2月5日电子探针（EPMA）是在扫描电镜的基础上配上波谱仪或能谱仪的显微分析仪器，它可以对微米数量级侧向和深度范围内的材料微区进行相当灵敏和精确的化学成份分析，基本上解决了鉴定元素分布不均匀的困难。第6页，共45页，星期日，2025年，2月5日电子显微分析在材料学中的应用①晶相、玻璃相、气相的存在与分布；②晶粒大小、形状、位置；③气孔的尺寸、形式、位置；④显微缺陷、微裂纹、晶体缺陷；⑤晶界及其所在处的杂质；⑥微区的成分分析。第7页，共45页，星期日，2025年，2月5日第八章电子光学基础光学显微镜和电子显微镜的基本光学原理是相似的，它们之间的区别仅在于所使用的照明源和聚焦成像的方法不同，前者是可见光照明，用玻璃透镜聚焦成像，后者用电子束照明，用一定形状的静电场或磁场聚焦成像。第8页，共45页，星期日，2025年，2月5日§8－1光学显微镜的局限性§8－2电子的波性及波长§8－3电子在电磁场中的运动和电子透镜§8－4电子透镜缺陷和分辨率§8－5电磁透镜的景深和焦深主要内容第9页，共45页，星期日，2025年，2月5日§8－1光学显微镜的局限性

1、一个世纪以来人们一直用光学显微镜来揭示材料的微观结构，但光学显微镜的分辨能力有限的。2、最小分辨距离计算公式：d指物镜能够分开两个点之间的最短距离，称为物镜的分辨本领或分