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结构一体化多功能集成光学MEMS器件：原理、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，光通信、光传感等领域对高性能、小型化的光学器件需求日益迫切。光学MEMS（Micro-Opto-Electro-MechanicalSystems，微光机电系统）器件作为一种融合了微电子技术、微机械加工技术与光学技术的新型器件，正逐渐成为这些领域的关键支撑技术，在学术研究和产业应用中均展现出了极其重要的价值。

从学术研究角度来看，光学MEMS器件的研究涉及多个学科领域的交叉融合，如物理学、材料科学、机械工程、电子工程等。这不仅为这些学科的发展提供了新的研究方向