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双质量硅微机械陀螺仪的设计理论与方法深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）技术已成为现代科技领域的重要研究方向之一。硅微机械陀螺仪作为MEMS惯性传感器中的关键部件，凭借其体积小、重量轻、成本低、易于集成等显著优势，在众多领域得到了广泛应用。

在航空航天领域，硅微机械陀螺仪是飞行器惯性导航系统的核心部件。飞行器在飞行过程中，需要实时精确地获取自身的姿态和角速度信息，以确保飞行的安全与稳定。硅微机械陀螺仪能够为导航系统提供高精度的角速度测量数据，帮助飞行器准确地控制飞行姿态，实现精确的导航和定位。例如，在卫星的姿态控制中，硅微机械陀螺仪可以实