基于共路光束漂移补偿的五自由度误差同时测量方法的探索与实践.docx

基于共路光束漂移补偿的五自由度误差同时测量方法的探索与实践

一、绪论

1.1研究背景与意义

1.1.1研究背景

在现代工业制造领域，数控机床、加工中心等高精度设备的应用日益广泛，它们的精度直接决定了产品的质量和性能。以航空航天领域为例，飞机发动机叶片的制造需要极高的精度，微小的误差都可能导致叶片性能下降，影响发动机的效率和可靠性，进而威胁飞行安全。在电子制造行业，芯片制造过程中，哪怕是纳米级别的误差，都可能使芯片性能大幅降低甚至报废。因此，确保这些设备的高精度运行至关重要。

目前，典型的三轴加工中心包含多达21项几何误差参数，涵盖每个坐标轴的3个直线度误差、3个角度误差以及各