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蔡司FESEM操作指引
1．开机：场发射扫描电镜正常情况下保持开机状态（绿灯ON常亮）
2、从放入样品并抽真空：
①SEMControlVacuum面板里，点击Vent放真空，并切换到CCD模式（Vent前确保EHTOff）；
②等几分钟后，舱门可以打开。将样品台卡在基座上的燕尾槽中，确认样品台卡紧；
③缓慢关上舱门，CCD模式下观察样品台进出，以防止过大的样品撞到物镜或探测器；
④在SEMControl→Vacuum面板里，点击Pump开始
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