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- 2025-10-16 发布于河北
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半导体行业专题
空白掩模版:光刻工艺核心原料,国产化亟待突破2025年10月10日
➢掩模版是半导体材料自主可控的关键一步。掩模版是半导体生产制造过程中推荐维持评级
不可或缺的材料,其基本工作原理是将设计好的电路图形通过光刻刻蚀等工艺绘
制在掩模版上,随后将掩模版承载的电路图形通过曝光的方式转移到硅晶圆等基
体材料上。半导体掩模版是技术要求最高的掩模版品类,同时也是最大的掩模版
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