薄膜的结构特征和缺陷.pptVIP

第1页，共12页，星期日，2025年，2月5日一、薄膜的结构薄膜的组织结构是指它的结晶形态，薄膜结构可分为三种类型：1、组织结构2、晶体结构3、表面结构第2页，共12页，星期日，2025年，2月5日1、薄膜的组织结构(1)非晶态结构。从原子排列情况来看它是一种近程有序、远程无序的结构，只有少数原子排列是有秩序的，显示不出任何晶体的性质，这种结构称为非晶结构或玻璃态结构。形成非晶薄膜的工艺条件是降低吸附原子的表面扩散速率。可以通过降低基体温度、引入反应气体和掺杂等的方法制成非晶薄膜。第3页，共12页，星期日，2025年，2月5日(2)多晶结构。多晶结构薄膜是由若干尺寸大小不等的晶粒所组成。在薄膜形成过程中生成的小岛就具有晶体的特征(原子有规则的排列)。由众多小岛聚结形成的薄膜就是多晶薄膜。用真空蒸发法或阴极溅射法制成的薄膜，都是通过岛状结构生长起来的，所以必然产生许多晶粒间界，从而形成多晶结构。第4页，共12页，星期日，2025年，2月5日(3)纤维结构。纤维结构薄膜是晶粒具有择优取向的薄膜，根据取向方向、数量的不同分为单重纤维结构和双重纤维结构。生长在薄膜中晶粒的择优取向可发生在薄膜生长的各个阶段：初始成核阶段、小岛聚结阶段和最后阶段。第5页，共12页，星期日，2025年，2月5日(4)单晶结构。单晶结构薄膜通常是用外延工艺制造的。外延生长需要满足三个基本的条件。a、吸附原子必须有较高的表面扩散速率，所以基体温度和沉积速率就相当重要。在一定的蒸发速率条件下，大多数基体和薄膜之间都存在着发生外延生长的最低温度，即外延生长温度。b、基体与薄膜材料的结晶相溶性。c、基体表面清洁、光滑和化学稳定性好。满足以上三个基本条件，才能制备结构完整的单晶薄膜。第6页，共12页，星期日，2025年，2月5日2、薄膜的晶体结构薄膜的晶体结构是指薄膜中各晶粒的晶型状况。晶体的主要特征是其中原了有规则的排列。在大多数情况下，薄膜中晶粒的晶格结构与块状晶体是相同的，只是晶粒取向和晶粒尺寸与块状晶体不同。除了晶体类型之外，薄膜中晶粒的晶格常数也常常和块状晶体不同。产生这种现象的原因有两个：一是薄膜材料本身的晶格常数与基体材料晶格常数不匹配，二是薄膜中有较大的内应力和表面张力。第7页，共12页，星期日，2025年，2月5日3、薄膜的表面结构在薄膜的沉积、形成、成长过程中，入射到基体表面上的气相原子是无规律的，所以薄膜表面都有一定的粗糙度。粗糙度对光学性能影响较大。由于薄膜的表面结构和构成薄膜整体的微型体密切相关，在基体温度和真空度较低时，容易出现多孔结构。所有真空蒸发薄膜都呈现柱状体结构，溅射薄膜的柱状结构是由一个方向来的溅射粒子流在吸附原子表面扩散速率很小的情况下凝聚形成的。第8页，共12页，星期日，2025年，2月5日二、薄膜的缺陷所有在块状晶体材料中可能出现的各类晶格缺陷在薄膜中也都可能出现。但是由于薄膜及其成膜过程的特殊性，因而薄膜中缺陷的形成原因和分布等也表现出一定的持续性，特别是其数量一般都大大超过块状材料。与此同时，薄膜中的晶格常数也与材料块状时的值有较大的差别。薄膜的缺陷可以分为以下三种类型1、点缺陷2、线缺陷3、薄膜的晶界与层错第9页，共12页，星期日，2025年，2月5日