T∕ZJATA 0031-2025 薄膜压力传感器 压力-电信号标定 试验方法.pdfVIP

ICS17.100

CCSN11

T/ZJATA0031—2025

T/ZJATA

浙江测试团体标准

T/ZJATA0031—2025

薄膜压力传感器压力-电信号标定

试验方法

ThinfilmpressuresensorPressureelectricalsignalcalibration

—

testmethod

2025-09-12发布2025-10-12实施

I

浙江省分析测试协会发布

T/ZJATA0031—2025

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4试验原理1

5试验条件2

m

6试验装置2

6.1砝码2

o

6.2压力试验机3

6.3电信号测量装置3

c

6.4压头3

.

7试验步骤3

7.1通则3

w

7.2逐点步进标定法3

7.3连续标定法4

x

8数据处理4

f

8.1逐点步进标定法的数据处理4

8.2连续标定法的数据处理4

z

8.3数据拟合5

b

9试验报告5

w.

w

w

II

T/ZJATA0031—2025

前  言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由浙江省分析测试协会提出并归口。

本文件起草单位：中国计量大学、浙江清华柔性电子技术研究院、中国计量科学研究院、工业和信

息化部电子第五研究所、柔检（嘉兴）科技有限公司、上海市质量监督检验技术研究院有限公司、浣江

实验室、浙江大学。

本文件主要起草人：何志峰、周浩淼、朱海斌、朱明敏、刘阳、杨晓锋、何海波、潘梦忠、徐