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中国半导体设备国产化率提升关键技术与产业链协同发展报告.docx

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    中国半导体设备国产化率提升关键技术与产业链协同发展报告

    一、中国半导体设备国产化率提升关键技术与产业链协同发展报告

    1.1技术创新与国产化进程

    1.1.1设备研发能力增强

    1.1.2产业链协同发展

    1.1.3政策扶持

    1.2关键技术与突破

    1.2.1光刻机

    1.2.2刻蚀机

    1.2.3离子注入机

    1.3产业链协同与市场拓展

    1.3.1产业链上下游企业加强合作

    1.3.2拓展国内外市场

    1.3.3培育本土市场

    二、产业链协同发展现状与挑战

    2.1产业链协同发展现状

    2.1.1产业链上下游企业紧密合作

    2.1.2区域产业集群效应显著

    2.1.3产学研一体化加速

    2.

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