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《半导体制备装置用超高纯净不锈钢管（征求意见稿）》.docx

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    3

    T/CSTAXXXX—2025

    半导体制备装置用超高纯净不锈钢管

    1范围

    本文件规定了半导体制备装置用超高纯净不锈钢管的分类及代号、订货内容、制造工艺、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量说明书。

    本文件适用于半导体制备装置用超高纯净不锈钢无缝钢管（以下简称钢管）。

    2规范性引用文件

    下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

    GB/T222钢及合金成品化学成分允许偏差

    GB/T223（所有部分）钢铁及合金化学

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