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2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破及晶圆厂供应商认证分析报告.docx

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    2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破及晶圆厂供应商认证分析报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体纯化技术发展现状与趋势分析 3

    1、电子特种气体行业整体发展概况 3

    年前电子特种气体市场基础与技术积累 3

    国产化率提升与进口替代进程分析 5

    2、纯化技术路线与关键瓶颈 6

    主流纯化技术（吸附、精馏、膜分离等）应用现状 6

    超高纯度（6N及以上）气体纯化技术难点与突破方向 7

    二、晶圆厂对电子特种气体供应商的认证体系与准入机制 8

    1、国际主流晶圆厂认证流程与标准 8

    台积电、三星、英特尔等头部厂

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