原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
人人好公，则天下太平；人人营私，则天下大乱。——刘鹗
设备名称：辉光光谱仪型号规格：GDS850A
一、设备简介
1、原理
样品本身作为阴极置于光源上，光源内抽成真空至10Pa左右，冲入氩气并维持压力
500~2025Pa;·················500~2025V,············
离子体。在负高压的作用下，受到电场加速的高能氩离子轰击样品表面，处于表面的样品原
子获得足以克服晶格束缚的能量，以原子的形式被溅射出样品的表面，进入等离子体。由于
等离子体内粒子碰撞频繁，原子的外层电子吸收一定的能量跃迁至更高的能级，此时原子处
于激发态。激发态的原子并不稳定，当其返回到基态时，会释放一定的能量，即一定波长的
光。不同元素释放出的光的波长（即特征波长）各不相同，不同波长的光经分光系统分光并
检测。
2、组成
辉光光谱仪由Grimm辉光放电光源、分光系统、检测系统和计算机控制系统四大部分
组成，其中光源系统有DC光源和RF光源，其中DC属于直流放电方式，用于检测导体材料；
RF光源属于射频方式，用于检测导体和非导体材料。
3、主要技术参数
溅射率1~5um，样品分析时间为2~10min,检测频率高达2000次/s。
4、应用
辉光光谱的应用主要为两个方面，一是固体样品元素总量的分析，对固态块状样品直
接分析，得到定量分析结果；二是深度分析，对被测材料进行逐层剥离、逐层分析，得到从
表面到基体元素成份的深度分布，测量范围可以从几纳米到几十微米。
二、设备操作
1环境条件
1.1实验室室温控制在25℃±5℃、湿度小于80%。
2试样要求
2.1来样必须平整，尺寸为40mm*40mm~20mm*20mm之间；对于做基体成分的热轧板试样，
表面须经320#碳化硅砂纸打磨平整。
3开机前准备
3.1确认控制面板上的开关均处于关闭位置
穷则独善其身，达则兼善天下。——《孟子》
3.2确认附属设备处于关闭状态
3开机
3.1将仪器前面板上的分析气体阀置于Agron位置
3.2打开仪器前面板上的Cleaning/CHAMBERAGRONVALVE置Bleed位置
3.3打开分析气瓶（高纯氩，纯度99.999%）阀门，让气体冲洗一分钟
3.4将Cleaning/CHAMBERAGRONVALVE置OFF位置
3.5设置氩气减压阀压力至40Psi。
3.6接通GDS电源
3.7打开显示器，打开仪器前面板CPU和计算机主机，等待设备的自动引导，听到十声
响声后，表示DSP卡通讯正常.
3.8进入维护菜单程序中的AmbientMonitor(环境监测)，观察分光温度和涡轮分子泵
转速，当温度接近37摄氏度和分子涡轮泵指示小于0.2Krpm时，打开前面板上的
SpecVacuum开关。
3.9当分子蜗轮泵转速降至1Krpm时，打开SPECVAC/TURBOENABLE按钮。
3.10待分子泵稳定在90Krpm，分光室真空度在0.001torr后，可正常分析
3.11
文档评论（0）