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电沉积3D打印图案化微结构工艺优化与应用

摘要

随着微纳技术的不断发展，微结构和微纳米件的制备技术越来越

成熟，对微结构的精度和复杂度的要求越来越高。电沉积3D打印具有高

分辨率、高可制备性和高成形复杂度等优点，被广泛应用于微纳制造领

域。本文主要介绍电沉积3D打印图案化微纭构工艺优化的方法及其应用。

首先介绍了电沉积3D打印的工作原理和优点，然后详细讨论了电沉积

3D打印图案化微结构所涉及的关键技术,包括电沉积技术、CAD设计软

件和材料选择等。接着,以电沉积3D打印制备的微结构为例，重点讨论

了它在微流控芯片、微型反应和光学件等领域的应用，分析了其在

这些应用中的优劣和局限性。最后，对电沉积3D打印图案化微结构未来

的发展前景和应用前景进行了展望。

关键词：电沉积3D打印；微结构；图案化；微流控芯片；微型反应

；光学件

引言

微纳结构是一种制造上大小在纳米至微米级别的细小结构物，因其

具有可重复性良好、精确度高、可制备性高等优点，被广泛应用于能源、

制药等领域。

近年来，电沉积3D打印技术已经得到广泛的关注。电沉积3D打印

技术是一种基于离子电镀的立体打印技术，通过控制电场和电流密度来

实现对水金属离子化学反应的控制，从而将预先确定的CAD模型精确地

转化为实物微纳结构，其具有高分辨率、高可制备性和高成形复杂度等

优点，被广泛应用于微纳制造领域。

本文主要介绍电沉积3D打印图案化微结构工艺优化的方法及其应用。

首先介绍了电沉积3D打印的工作原理和优点，然后详细讨论了电沉积

3D打印图案化微结构所涉及的关键技术，包括电沉积技术、CAD设计软

件和材料选择等。接着，以电沉积3D打印制备的微结构为例，重点讨论

了它在微流控芯片、微型反应和光学件等领域的应用，分析了其在

这些应用中的优劣和局限性。最后，对电沉积3D打印图案化微结构未来

的发展前景和应用前景进行了展望。

1电沉积3D打印的工作原理和优点

电沉积3D打印技术是一种基于离子电镀的立体打印技术。其工作原

理是，首先在光刻片上制作一个有精细线条和结构的图案，然后将它置

于电极上，在电化学记录介质中，通过控制电场和电流密度，在电容电

解池中不断地运动和储存电荷，从而使得水金属离子化学反应被控制在

图案中。获得一远比基础材料更加高精度、精密的设计结构。该技术具

有以下特点：

1.1高分辨率

电沉积3D打印技术可以达到亚微米级别的分辨率，材料的分辨率和

金属离子的浓度是挑战把控的关键。

1.2高可制备性

通过CAD绘图的设计，电沉积3D打印技术可以制造出复杂的得结

构。

1.3高成形复杂度

电沉积3D打印技术可以制造出具有复杂的几何形状、控制长宽比的

微纳级结构，可以为传统微纳制造技术提供更多的设计思路和可能。

2电沉积3D打印图案化微结构所涉及的关键技术

电沉积3D打印主要涉及加工过程以及CAD设计软件和材料选择等

几个方面的技术。

2.1加工过程

在将图案置于电极上之后，通过增加或减少电流密度来控制沉积速

率。

2.2CAD设计软件

CAD软件是制作任1可微型3D结构设计所需的关键工具。它提供了

创意、设计和调整细节的解决方案等功能。

2.3材料选择

由于该技术需要在化学过程中控制水金属离子的反应，因此需要特

定的金属盐溶液以使用优质材料。典型的材料包括铜、锌、镣、铭、锡

和金等基本金属离子兀素。

3电沉积3D打印图案化微结构在微流控芯片、微型反器和光学器

件中的用

3.1微流控芯片

微流控芯片是一种具有许多微通道和微阀门的芯片，用于对微流体

进行控制实现各种反与控制。电沉积3D打印技术可用于制造微流控芯

片的微通道和微结构，用于必须控制反