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离子辐照：晶体光波导与二维纳米材料性能优化的关键技术

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学与光电子学快速发展的当下，离子辐照作为一种极具潜力的材料改性技术，正受到科研人员的广泛关注。离子辐照是指利用高能离子束轰击材料表面，使材料内部的原子发生位移、缺陷形成或化学性质改变，进而实现对材料性能的调控。这种技术具有离子束能量密度高、实验条件可精确控制，且不受化学剂量比影响的特点，在材料改性、芯片制造、生物医学、能源及化工等多个领域展现出了独特的优势。

在光电子领域，晶体光波导有源器件是构建光通信、光计算和光传感等系统的关键基础元件。光波导能够引导光信号在特定路径中传输，而有源器件则可实现对光