微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价.docxVIP

微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第2部分：选材与评价.docx

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ICS77.060CCSH25

中国腐蚀与防护学会团体标准

T/CSCP0059.2-2025

微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传

感器

第2部分：选材与评价

Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchipand

sensor———

Part2:Materialselectionandevaluation

2025-09-01发布

2025-10-01实施

中国腐蚀与防护学会发布

T/CSCP005

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