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ICS77.060
CCSH25
中国腐蚀与防护学会团体标准
T/CSCP0059.4-2025
微机电系统(MEMS)材料腐蚀芯片及传感
器
第4部分：元器件选型及测试
Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)materialcorrosionchip
andsensor——
Part4：Componentselectingandtesting
2025-09-01发布2025-10-01实施
中国腐蚀与防护学会发布
T/CSCP0059.4-2025
目次
前言…………………………III
引言…………………………IV
1范围6
2规范性引用文件6
3术语和定义6
4.技术要求6
4.1敏感元器件6
4.2信号处理电路7
4.3封装结构8
5.测试方法8
5.1外观检查8
5.2性能测试8
5.3长期稳定性测试9
6.检验规则10
6.1例行检验10
6.2型式检验10
6.3抽样检验10
7.标志、包装、运输、贮存10
7.1标志10
7.2包装10
7.3运输11
7.4贮存11
附录A12
T/CSCP0059.4-2025
检验项目12
T/CSCP0059.4-2025
引言
《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》涵盖了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、
选材、测试及芯片电路、元器件选型设计方法。目前，该标准由五个部分构成：
——第1部分：通用要求。目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器通用要求，包括MEMS
材料腐蚀芯片及传感器的设计要求、选材要求、制造要求及测试要求。
——第2部分：选材与评价。目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器各部分材料的选材与评
价方法，包括选材原则、常用材料类型及其性能指标、评价与验证方法。
——第3部分：测试方法。目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器测试方法，包括测试项目
及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则。
——第4部分：元器件选型及测试。目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件选型及
测试，包括元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
——第5部分：电路设计及测试。目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器的电路设计及测试
方法，包括电路设计要求、性能要求及测试方法。
T/CSCP0059.4-2025
微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第4部分：元器件选型
及测试
1范围
本文件规定了微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem，以下简称MEMS）材料腐蚀芯片及传
感器的元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验和使用过程中的元器件选型
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