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电子特气纯化技术突破及晶圆厂认证进度评估.docx

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    电子特气纯化技术突破及晶圆厂认证进度评估

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、电子特气纯化技术现状与发展趋势分析 3

    1、当前主流纯化技术路线梳理 3

    吸附法与低温精馏法应用对比 3

    膜分离与催化反应纯化技术进展 5

    2、国际与国内技术差距及演进路径 6

    美日企业技术壁垒与专利布局 6

    国产替代技术突破关键节点回顾 8

    二、核心竞争格局与主要厂商动态评估 10

    1、全球头部企业市场占有率与技术优势 10

    林德、空气化工、大阳日酸技术参数对比 10

    海外厂商在华建厂与本地化策略 11

    2、国内重点企业研发进展与产能

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