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;目录;;当前碳化硅外延层厚度测试面临哪些行业痛点,凸显标准制定的紧迫性?;;从专家视角看,该标准的核心目的除统一测试方法外,还有哪些深层意义?;;红外反射法的基本科学原理是如何实现对厚度的精准测量?;;;;标准对红外光谱仪的波长范围、分辨率等核心参数有哪些明确规定,为何这些参数至关重要?;;;;标准对测试样品的尺寸、形状及外延层均匀性有哪些前置要求,不符合会有何影响?;;;;;;;;根据标准,如何从采集的红外反射光谱中提取关键数据,代入公式计算外延层厚度?;;测试报告需包含哪些核心信息,标准如何规范报告内容以保证完整性与追溯性?;;;日常测试中的质量控制措施,如空白试验、平行样测试等,标准
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