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薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用研究报告.docx

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    薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用研究报告

    一、薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用研究报告

    1.1薄膜沉积技术概述

    1.2微流控芯片表面改性需求

    1.2.1表面能调控

    1.2.2亲疏水性调控

    1.2.3生物相容性改善

    1.3薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用

    1.3.1PVD技术在微流控芯片表面改性中的应用

    1.3.2CVD技术在微流控芯片表面改性中的应用

    1.3.3溶液沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用

    二、薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的具体应用

    2.1物理气相沉积（PVD）技术

    2.2化学气相沉积（CVD）技术

    2.3溶液沉积技术

    2.4

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