MAX相薄膜制备技术的研究进展.pdfVIP

HotWorkingTechnology2018，Vo1．47，No．20

MAX相薄膜制备技术的研究进展

史沛然。法涛

f中国工程物理研究院材料研究所，四川江油62l700)

摘要：阐述r近年米物理气相i)C积、化学气干}j沉影{及㈣十日反等技术制备MAX十1【薄膜的研究进展。指出了较低

温度下成分可控的MAX相镀膜技术是未来研究的发展趋秘。

关键词：MAX棚薄膜；制备技术；研究进展

DOh10．14158／j．cnki．1001——3814．2018．20．007

中图分类号：TG174．444文献标识码：A文章编号：100I一3814(2018)20—0030—04

ResearchProgressofPreparationTechnologyofMAXPhaseFilm

SHIPeiran．FATao

(InstituteofMaterials，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Jiangyou62l700，China)

Abstract：TheresearchprogressofthepreparationofMAXphasethinfilmsbyphysicalvapordeposition，chemical

vapordepositionandsolid—statereactionwerereviewed．ThefutureresearchtrendofMAXphasedepositiontechnologieswith

controllablecompositionatlowertemperaturewaspointedout．

Keywords：MAXphasefilm；preparationtechnology；researchprogress

M“AX相”的概念首先南Barsoumtl于2000年性能的元层状材料的化学式可用Mn+1AXn表

提m的，它兼具金属材料的导热、导电性、可加示，简称为MAX相材料2【1。M、A和X位置的元素分

和陶瓷材料高强度、抗氧化、耐腐蚀等优良特性，近布如图1所示。MAX相材料的晶体结构属于六方

年来受到研究者的广泛关注。这类具有相似结构和品系．南MX片层与A原子层在C轴方向上按一定

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H：过渡金属口土联2t；~-G_u~N，31415，6”H●

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