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2025年中国小型离子溅射仪数据监测报告.docx

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    2025年中国小型离子溅射仪数据监测报告

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    TOC\o1-3\h\z\u27448摘要 3

    2437一、技术代际跃迁与路径分岔点剖析 5

    86081.12010—2025年小型离子溅射仪核心模块演化谱系 5

    101661.2国产设备技术路线与国际主流方案的收敛与背离 8

    296821.3技术演进路线图：从物理溅射控制到智能反馈闭环系统 10

    22200二、区域创新极差与研发密度梯度研究 13

    284502.1长三角、珠三角、京津冀三极研发资源投入对比 13

    240962.2高校—企业联合实验室产出效能横向评估 15

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