《GB_T 43493.1-2023半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分:缺陷分类》专题研究报告.pptx

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;目录;;随着新能源汽车、储能等领域对高功率、高可靠性器件需求激增,碳化硅外延片缺陷直接影响器件性能与寿命。此前行业缺乏统一检测标准,企业检测方法各异,导致产品质量参差不齐,阻碍产业链协同发展,统一标准成为行业刚需。;;;;;标准为何选择以无损检测技术为基础进行缺陷分类?;;;;;未来3-5年碳化硅外延片无损检测技术将呈现哪些发展趋势?标准如何适配?;;;不同缺陷的识别判据(如尺寸、数量阈值)与碳化硅器件性能存在怎样的关联?;这些识别判据对企业生产实践有何具体指导意义?如何帮助企

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