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百级洁净室设计.pdf

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    摘要

    本文介绍了百级洁净车间的设计。随着物质文明的发展，工业生产对百级洁净室的需求日渐增

    加。百级洁净室的气流为单向流的形式，其送风量非常大，耗能高，合理设计百级洁净室对节省能耗

    起着非常关键的作用。

    本设计分为送风静压技术层、车间生产层和回风静压夹层。先计算车间各参数的大小选择相应的

    空调设备。采用FFU作为末端送风装置。回风分成两路，一路直接由FFU抽取，另一路回空调箱处理

    后再送往送风静压层，使之有非常好的节约能耗的效果。

    关键词：百级；洁净室；空调；单向流

    第1章绪论

    随着科技文明的进步，微电子产业在我国遍地开花。等级的洁净无尘车间随

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