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光刻胶供应链安全评估及本土化研发与晶圆厂认证体系
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、光刻胶供应链安全现状评估 4
1、全球光刻胶供应链结构分析 4
主要原材料产地与供应集中度 4
关键设备与中间体对外依存度 5
2、中国光刻胶供应链脆弱性识别 5
进口依赖度与断供风险点 5
物流与地缘政治对供应链稳定性的影响 7
二、本土化研发能力与技术突破路径 9
1、国内光刻胶研发基础与技术瓶颈 9
高端光刻胶配方与纯化工艺差距 9
光引发剂、树脂等核心材料国产化进展 10
2、产学研协同与关键技术攻关机制 12
国
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